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设备优势:
1、像元精度0.2 pixel 2、支持GR&R报告 3、MTBA>1hour 4、支持缺陷分组提取 5、可查询&归类各Lot信息 6、兼容性高,支持多种芯片类别
应用: 固晶&打金线工艺失效检测(WB&DB)
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